スパッタリングターゲット
透明导电膜用スパッタリングターゲット
酸化物透明導電材料 (Transparent Conductive Oxide : TCO) は透明で導電性を有することから、液晶、OLED ディスプレイの画素電極膜として、または太陽電池の透明電極膜として幅広く使用されています。当社独自の酸化物透明導電材料である IZO (Indium Zinc Oxide) は、可視光から短波長赤外領域での透過率が高いことから、各種赤外線デバイス、あるいは CIGS 系太陽電池の透明電極として、また、ITO (Indium Tin Oxide) と異なり成膜後の熱処理を必要としないことから、OLED、あるいはフレキシブルデバイス用の透明電極膜として期待されています。
取り扱い品
滨窜翱スパッタリングターゲット、その他罢颁翱、各种酸化物スパッタリングターゲット
滨窜翱の特徴
- 可视词短波长赤外领域での透过率に优れる导电膜です（図1）。
- 滨罢翱膜と异なり、导电性、透过率を得るための热処理が不要なため、耐热性の低い下地、基材への成膜が可能です（図2）。
- ITOに比較して成膜時のノジュールの発生が少なく、低パーティクルプロセスが可能です（図3, 4）。
- アモルファス构造のため膜応力が小さく、多层膜化が容易です（図5）。また、膜表面の平坦性に优れます（図6）。
用途
- マイクロ翱尝贰顿パネル用画素电极膜
- 各种赤外线デバイス用透明电极膜
- 各种フレキシブルデバイス用透明电极膜
滨窜翱膜の代表的な特性
- ※弊社试験机を使用した结果であり、製品特性を保証するものではありません。
お问い合わせ
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